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氦檢漏儀維修具體步驟

更新時間:2024-10-11 瀏覽次數(shù):361

  氦檢漏儀維修是一個專業(yè)且細(xì)致的過程,需要對設(shè)備的結(jié)構(gòu)和工作原理有深入的了解。
  
  一、機(jī)械泵故障處理
  
  1、不動作問題:檢查電源電壓、開關(guān)狀態(tài)、繞組是否斷路或接地,以及電機(jī)是否過熱。
  
  2、聲音異常問題:檢查油位、油質(zhì)和油溫,確保油霧過濾器正常工作。
  
  二、分子泵故障處理
  
  1、TMP顯示“0”:檢查前級壓力、真空規(guī)管、機(jī)械泵油和系統(tǒng)泄漏情況,以及葉片或轉(zhuǎn)子是否損壞。
  
  2、加速指示燈不亮:更換保險絲或檢查是否有短路現(xiàn)象。
  
  3、故障燈亮:檢查電路板設(shè)置開關(guān)位置和風(fēng)扇運(yùn)行狀態(tài)。
  

氦檢漏儀維修

 

  三、質(zhì)譜室故障處理
  
  1、燈絲無法啟動:在確認(rèn)機(jī)械泵和分子泵正常工作后,若燈絲仍無法發(fā)射離子流,則需更換離子源。
  
  2、本底信號異常:考慮放大器是否故障,通常用戶無法解決,需交由專業(yè)維修處理。
  
  四、檢測開始時故障處理
  
  檢漏鍵無效:檢查燈絲是否啟動,以及I/O短接插頭是否正確連接。
  
  五、自動校準(zhǔn)結(jié)束故障處理
  
  自動校準(zhǔn)失?。簷z查自動校準(zhǔn)設(shè)置、溫度傳感器連接和靈敏度,必要時清洗質(zhì)譜室。
  
  六、檢漏時故障處理
  
  1、不轉(zhuǎn)換至細(xì)檢方式:檢查檢漏口壓力和粗檢指示燈狀態(tài)。
  
  2、靈敏度低:檢查三極規(guī)所測壓力和離子源污染情況。
  
  3、氦本底太高:檢查機(jī)械泵油、系統(tǒng)泄漏、真空管路污染和環(huán)境因素。
  
  總的來說,氦檢漏儀維修是一個涉及多個方面的復(fù)雜過程,需要專業(yè)知識和技術(shù)。通過正確的故障診斷和專業(yè)的維修服務(wù),可以有效恢復(fù)設(shè)備的功能,延長使用壽命。用戶在選擇維修服務(wù)時,應(yīng)考慮服務(wù)商的專業(yè)性和服務(wù)質(zhì)量,以確保設(shè)備的穩(wěn)定可靠運(yùn)行。
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